電球の爆発という悪夢を防ぐには 高負荷の生産ラインにおいて、赤外線電球が爆発するというのは、単なる「技術的なトラブル」や少しの停止時間に過ぎません。それは完全な災害です。 考えてみてください。石英管が破れると、ガラスの破片やハロゲンガスが直接ウェーハに降り注ぎます。一度爆発するだけで、そのロット全...

ライン上ではよくあることだが、ソフトベークの温度が0.5度ずれるだけで、重要寸法管理が仕様外になる。まさにその現実に対応するためにDNS（Screen）ウェーハドライヤーランプは設計されている。チャック全体でウェーハレベルの熱均一性を±0.1°C以内に維持し、フォトレジストのベークプロファイルをシ...