中波クォーツヒーターチューブ

ファブの現場では、フォトレジストのベイク処理は単なる工程の一つに過ぎません。それは、温度制御が非常に重要な作業です。ソフトベイクやハードベイクの際には、毎回、正確な温度範囲内で処理を行う必要があります。もしその範囲を外してしまうと、リソグラフィーの精度が低下してしまいます。その結果、歩留まりも悪く...