半導体製造工場で炭素排出量を削減するには、まず熱源の問題を解決する必要があります。従来の加熱方式ではエネルギーが無駄に消費されてしまいます。まるで、キッチン全体を温めて、一品の料理だけを温めようとするようなものです。 そのため、私たちは二重管構造の金コーティング済み赤外線ランプを使用しています。こ...

ファブの現場では、フォトレジストのベイク処理は単なる工程の一つに過ぎません。それは、温度制御が非常に重要な作業です。ソフトベイクやハードベイクの際には、毎回、正確な温度範囲内で処理を行う必要があります。もしその範囲を外してしまうと、リソグラフィーの精度が低下してしまいます。その結果、歩留まりも悪く...