最初から完璧な設計を目指すのではなく、5年後も問題なく動作するように設計しましょう。 ほとんどの人は、暖房装置がすぐに正常に動作するように設計します。これはデモ用としては良いですが、実際の運用では大変な問題になります。 実際、いずれはヒーター素子が壊れてしまいます。もしそんなことが生産の最中に起き...

ファブ内では、Lam Research社製の加熱器における温度変動は、単なる小さな問題ではありません。それはCDの制御やフォトレジストの特性、そして生産効率に直接的な影響を与えます。加熱器の温度が不安定になると、ソフトベイクやハードベイクの温度も同様に変動し、ウエハ全体の温度分布が崩れてしまいます...