ライン上ではよくあることだが、ソフトベークの温度が0.5度ずれるだけで、重要寸法管理が仕様外になる。まさにその現実に対応するためにDNS（Screen）ウェーハドライヤーランプは設計されている。チャック全体でウェーハレベルの熱均一性を±0.1°C以内に維持し、フォトレジストのベークプロファイルをショットごと、ロットごとに安定させる。
技術的な内部構造
このランプは、フォトレジスト積層の吸収特性に合わせて調整された石英封入の短波長赤外線源を使用している。応答速度は1秒未満で、5,000時間以上の運転において温度の再現性は1°C以内、出力低下は5％未満に抑えられている。モジュールはクリーンルームクラス1–100対応で、パーティクル制御された経路を持ち、加熱点でのパーティクル発生はゼロである。出力は繰り返し可能な熱負荷を供給するよう校正されており、標準的なScreenドライヤープラットフォームとクリーンにインターフェースする。
リソグラフィサポートにおける役割
リソグラフィサポートでは、このランプがソフトベークおよびハードベークの安定化を実現し、ライン幅のばらつきを低減し手戻りを防止する。熱立ち上がり制御によりサイクルタイムを短縮しつつ膜品質を損なわない。また、加熱が高速かつ局所的であるためエネルギー消費は抑えられている。24時間365日の連続運転を想定して設計されており、予期せぬダウンタイムは発生しにくく、消耗品交換も削減されるためファブの稼働を維持できる。
設置および運用で注意すべき点
設置時はドライヤーの光学系およびチャックに対する精密なアライメントが必要で、均一性維持のためにランプは定格電圧範囲内で運用しなければならない。ウォームアップには短時間を要し、±0.1°Cの均一性仕様を維持するために定期的な強度検証が推奨される。ランプは使用するドライヤーモデルに適合させることで、プロセスウィンドウが設定通りに保たれる。