OLED製造用乾燥ランプ

OLEDラインではマージンは得られない。1℃の変動でもソフトベークがフォトレジストのプロファイルをシフトさせる。均一性のないハードベークは静かに歩留まりを蝕む。そして7×24のファブ環境では、乾燥工程は停止ではなく、時間を問わず維持しなければならない制約である。 技術的に重要な点 OLED製造用乾...