ポストエクスポージャーベイク PEB ヒーター

リソグラフィフロアでは、ライン幅制御はポストエクスポージャベーク（PEB）で成否が決まる。わずか数度の温度ドリフトやウェーハ全体の温度不均一があれば、CDのばらつきやスクラップを招く。そこで当社は、PEBヒーターを変動要因から排除する設計とした。 内部で重要なポイント ベーク面全体で±0.1℃のウ...