ウェーハ処理装置用温度センサー

なぜウェーハセンサーの絶縁性能テストにこだわるのか？ ウェーハ製造用の装置は厳しい環境下で動作します。極端な高温と厳格な電気的許容範囲のため、ミスの余地はまったくありません。 考えてみてください。温度センサーやヒーターにわずかな絶縁不良があっただけで、コントローラーボードが破損したり、シリコンウェ...