半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

なぜ半導体製造において熱風を使わずに赤外線を利用するのか もし、精密な加工作業を経験したことがあるなら、待つ時間の長さをご存知でしょう。 熱風を使って加熱するのは、廊下にあるヘアドライヤーで部屋全体を温めようとするのと同じです。まず空気が温められ、その空気がトロリーを温め、最終的にウェーハが温まり...