ファブの現場では、フォトレジストのベイク処理は単なる工程の一つに過ぎません。それは、温度制御が非常に重要な作業です。ソフトベイクやハードベイクの際には、毎回、正確な温度範囲内で処理を行う必要があります。もしその範囲を外してしまうと、リソグラフィーの精度が低下してしまいます。その結果、歩留まりも悪く...

電力、電圧、そして最適な選択 私たちは、このクォーツヒーターを工業作業向けのシンプルで即設置可能な熱源として設計しました。小さな設置面積から強力な熱を発生させます—2500W、400Vのパワーです。 300mmの長さは、必要な場所に熱を集中させます。エネルギーは無駄になりません。プロセスが要求する...