DNS スクリーン ウェーハドライヤーランプ

ライン上ではよくあることだが、ソフトベークの温度が0.5度ずれるだけで、重要寸法管理が仕様外になる。まさにその現実に対応するためにDNS（Screen）ウェーハドライヤーランプは設計されている。チャック全体でウェーハレベルの熱均一性を±0.1°C以内に維持し、フォトレジストのベークプロファイルをシ...