MEMS用の装置をオーブンのように使うのはやめましょう。 もし、ウェーハの乾燥に通常の対流式ヒーターを使ったことがあるなら、その苦労はご存知でしょう。ウェーハを乾燥させようとしても、結局はチェンバー全体が加熱されてしまいます。高価な装置の内壁は、まるでスポンジのようにそのエネルギーを吸収してしまい...

なぜウェーハセンサーの絶縁性能テストにこだわるのか？ ウェーハ製造用の装置は厳しい環境下で動作します。極端な高温と厳格な電気的許容範囲のため、ミスの余地はまったくありません。 考えてみてください。温度センサーやヒーターにわずかな絶縁不良があっただけで、コントローラーボードが破損したり、シリコンウェ...

赤外線を活用して、スマートファブの加熱を正確に制御しよう インダストリー4.0向けのスマートファブを構築する場合、ソフトウェアだけでは不十分であることはご存知でしょう。本当の課題はハードウェアです。データに応じて動作する装置が必要なのです。 ウェーハの加熱に関しては、私たちは赤外線を積極的に利用し...

ウェーハの汚染という悪夢を防ぐために 正直に言って、大量生産の現場では、赤外線ランプが壊れるという事態を想像するだけで、どんなエンジニアでも夜も眠れなくなります。 問題は単にヒーターが故障することだけではありません。本当の災害は、その後に起こることです。石英管が壊れると、ガラスの破片や化学物質がウ...

なぜ、精密赤外線技術がスマートファブの真の支柱なのか 将来のIndustry 4.0型スマートファブを構築しようと考えている方へ。重要なのは、単に温度を上げるだけではないということです。大事なのはデータです。 私たちは、クリーンでデジタル処理に適した信号を得られるように、精密な赤外線システムを開発...

ライン上ではよくあることだが、ソフトベークの温度が0.5度ずれるだけで、重要寸法管理が仕様外になる。まさにその現実に対応するためにDNS（Screen）ウェーハドライヤーランプは設計されている。チャック全体でウェーハレベルの熱均一性を±0.1°C以内に維持し、フォトレジストのベークプロファイルをシ...