半導体製造プラントにおいて、エネルギーの無駄遣いは単なるコストの問題だけではありません。ウェーハを加熱する際の真の課題は、単に高出力の電力を供給することではなく、そのエネルギーが実際にシリコンに届くようにすることです。そうでなければ、機械の内部が温まっただけで意味がありません。 そのため、私たちは...

なぜクリーンルーム用ヒーターの絶縁性能試験にこだわるのか クリーンルームでは、「十分に良好であればよい」ということはありません。ほんのわずかなほこりや電気的漏れがあっただけで、全ての製品が台無しになってしまいます。 このような場所向けに赤外線ヒーターを製造する際、私たちはもちろん熱出力にも注意を払...