ドーパント活性化型赤外線ヒーター

ファブ内では、ドーパントの活性化処理やフォトレジストのソフトベイク、ハードベイクの過程で生じる温度変動は、単に歩留まりを低下させるだけでなく、歩留まりを完全に台無しにしてしまいます。私たちは、プロセスが実際に必要とする温度を維持するために、ドーパント活性化用の赤外線ヒーターを開発しました。つまり、...