赤外線発光素子用セラミックエンドキャップ

リソグラフィフロアでは、フォトレジストは意図には依存せず、温度に反応する。ソフトベーク中にウエハー上でたった1℃のドリフトがあれば、ロット全体でCDばらつきとして現れ、熱予算を圧迫する。IRエミッターアセンブリのセラミックエンドキャップは、そのドリフトが発生する場所を抑制する役割を持つ。 技術的に...