半導体製造装置の内部を冷却しつつ、プロセスで発生する熱を抑えるのは大変なことです。一般的なヒーターでは、熱があちこちに散らばってしまいます。まるで、スペースヒーターを段ボール箱の中に入れるようなものです。結局、装置全体が巨大なラジエーターのようになってしまいます。その結果、高価な装置が過熱し、作業...

なぜ半導体製造において熱風を使わずに赤外線を利用するのか もし、精密な加工作業を経験したことがあるなら、待つ時間の長さをご存知でしょう。 熱風を使って加熱するのは、廊下にあるヘアドライヤーで部屋全体を温めようとするのと同じです。まず空気が温められ、その空気がトロリーを温め、最終的にウェーハが温まり...

ファブ内の温度を正確に制御するためには 「スマートな」ファブを構築しようとすると、自動化が難しいわけではないことにすぐ気づくでしょう。実際の課題はデータの処理です。リアルタイムで情報を返してくれる仕組みが必要です。私たちの半導体加熱システムでは、推測に頼るのではなく、高密度の赤外線センサーと高精度...

悪夢を止める：金コーティングされたIRランプでウェーハを清潔に保つ 半導体製造工場では、ランプが壊れるというのは単なる「技術的なトラブル」や一時的な停止に過ぎないわけではありません。それは大惨事です。フル稼働中に石英管が破裂すると、ガラスの破片や汚れがウェーハに降り注ぎます。一度壊れると、すべての...

はじめに 私たちは、アメリカや日本の大手メーカーと肩を並べることができる、半導体製造装置用の加熱部品を製造しています。 私たちが常に追求しているのは、高価なコストをかけずに、同じくらい信頼性の高い性能をどうやって実現するかということです。 そのために、厳格な基準に従って部品を製造し、素材や製造プロ...

では、なぜ高額を支払ってまで清潔で純粋な熱を得る必要があるのでしょうか？ 率直に言えば、あなたはエンジニアです。高性能な半導体赤外線ランプが必要なのは明らかです。しかし、同じような性能を得られるのに、なぜ高価な国際的なブランドから高額を払わなければならないのでしょうか？ 私たちが作ったヒーターは、...

ファブの現場では、フォトレジストの焼成時に1℃の温度変動が生じると、それは単なるモニター上の数値の変動に過ぎません。しかし実際には、ウェーハの線幅のばらつきやエッチングのバイアス、廃棄されるウェーハの増加といった問題を引き起こします。私たちは、このような変動を抑えるために、半導体用の赤外線ヒーター...

製造現場において、写真感光材を95℃で加熱するというのは単なる推奨事項ではありません。それは、単純に必要な温度条件なのです。もしこの温度から半度でも外れてしまうと、線幅の制御が乱れてしまいます。その結果、歩留まりも悪くなります。だからこそ、コーターやベイクオーブン内のヒーター要素は、何度繰り返して...

ファブフロアにおいて、フォトレジストのベーク中に0.1℃のドリフトが発生すると、ライン幅がナノメートル単位で変動し、数時間にわたるリソグラフィ作業が無駄になることがあります。大量生産のウェーハ製造では、熱の再現性は「あれば良い」ものではなく、プロセスそのものです。当社の超精密熱システムは、クラス...