ウェーハ加熱時の安全距離

ウェーハの汚染という悪夢を防ぐために 正直に言って、大量生産の現場では、赤外線ランプが壊れるという事態を想像するだけで、どんなエンジニアでも夜も眠れなくなります。 問題は単にヒーターが故障することだけではありません。本当の災害は、その後に起こることです。石英管が壊れると、ガラスの破片や化学物質がウ...