ヒーターによってウェーハが破壊されるのを防ぎましょう。
半導体製造工場や高精度光学研究室では、ほんのわずかなほこりでも大きな問題となります。たった1つの粒子で、ウェーハ全体が破壊されてしまいます。
しかし、クラス100のクリーンルームで熱を得る際、一般的な加熱要素は問題を引き起こします。それらはガスを放出したり、破片を飛ばしたりして、雑多な状態になってしまいます。
この問題を解決するために、私たちは赤外線ランプに高純度の合成石英ガラス製のシールドを使用しています。これにより、必要な熱を得つつ、混乱を避けることができます。
石英が効果的な理由
私たちが使っているのは、普通のガラスではありません。それは融合シリカです。
その理由は簡単です。高温になっても、揮発性有機化合物や金属イオンが漏れ出しません。通常のガラスは圧力がかかると軟化して壊れてしまいますが、石英はそうではありません。極端な温度でも透明で強度を保ち続けます。
つまり、赤外線が正確に目的の場所に届き、シールド自体は目立たず、何の問題も起こりません。
剥がれることも、破片が飛ぶこともない
シールドをボディガードのように考えてください。それは加熱フィラメントとワークピースの間に位置します。
安価なシールドは最悪です。熱衝撃で割れてしまい、微細な破片が生産ラインに飛び散ってしまいます。私たちのシールドは、急速な加熱・冷却のサイクルにも耐えられるように設計されています。
また、公差も非常に厳しく管理されています。隙間がなく、空気が渦巻いて床のほこりが舞い上がるのを防ぎます。
一点だけ注意点
ただし、高純度の石英は表面の油分に対しては少々敏感です。
もし技術者が設置時に素手でガラスに触れると、その指の油分が加熱時に石英に染み込んでしまいます。これにより「ホットスポット」が発生し、チューブが早期に故障する原因となります。
ですから、必ずノンウォッシュグローブを使用してください。すべての部分をイソプロピルアルコールで清掃してください。
配線をしっかりと管理し、シールドを常に清潔に保てば、クリーンルームの基準を満たしつつ、十分な熱密度を得ることができます。