半導体ヒーター用熱電対

ファブ内の温度を正確に制御するためには 「スマートな」ファブを構築しようとすると、自動化が難しいわけではないことにすぐ気づくでしょう。実際の課題はデータの処理です。リアルタイムで情報を返してくれる仕組みが必要です。私たちの半導体加熱システムでは、推測に頼るのではなく、高密度の赤外線センサーと高精度...