半導体製造工場で炭素排出量を削減するには、まず熱源の問題を解決する必要があります。従来の加熱方式ではエネルギーが無駄に消費されてしまいます。まるで、キッチン全体を温めて、一品の料理だけを温めようとするようなものです。
そのため、私たちは二重管構造の金コーティング済み赤外線ランプを使用しています。これにより、ウエハー処理に必要な強力な熱を得られる一方で、エネルギーの半分が無駄になることはありません。
なぜ金を使うのか？
一般的な石英管でも十分ですが、エネルギーがあちこちに漏れてしまいます。それを解決するために、表面に薄い金の層を塗ります。これはまるで熱の鏡のようなもので、エネルギーを無駄に散らす代わりに、目的の場所に反射させます。その結果、より集中した熱が得られ、温度もすぐに上昇します。
最良な点は、機械の筐体がオーブンのようにならないことです。熱が集中するため、冷却ファンを最大限に動かしてでもシステムを壊さないようにする必要がありません。静かで、快適で、効率的です。
「二重管」の利点
私たちは単一の管を使うのではなく、2本の管を使います。これにより、設置スペースを増やすことなく、表面積を2倍にできます。また、局所的な過熱によって管が壊れる心配もありません。クリーンルームでは、これによりウエハー全体に均等に熱が行き渡ります。不均一な冷え込みや予期せぬ問題も起こりません。
ただし、注意点もあります。こんなに多くの電力を使うと、配線に負担がかかります。端子が耐えられない場合、電圧が下がり、加熱の安定性が失われてしまいます。
工場の環境改善
実際のメリットは、従来の抵抗式ヒーターからこの赤外線システムに切り替えることで、ウエハーの加熱時間が数分から数秒に短縮されることです。これは、1枚のウエハーあたりの消費電力を大幅に削減することを意味します。
これらは、既存の機械に簡単に取り付けられます。機械を分解したり、大金をかけて完全に再構築したりする必要はありません。単にアレイを交換し、エネルギーをウエハーがある場所に正確に集中させるだけで、不要な加熱にかかる費用を節約できます。