赤外線ヒーターを可燃性化学物質の近くで使用する際の安全対策 もし、化学洗浄ラインで赤外線ヒーターを使用しているなら、その厳しさはよくご存知でしょう。揮発性の蒸気が周囲に漂い、真空状態があらゆるものに影響を与えます。このような環境では、一般的な市販のランプを使うのは良くない選択です。それは危険を招く...

真空オーブンのヒーター要素に関する厳しい現実 単刀直入に言えば、真空オーブンの内部というのは、ヒーター要素にとっては過酷な環境です。まさに厳しく、容赦のない場所です。 私たちが製造するヒーター要素は、実際に高圧下で機能しなければならないことを前提に設計されています。日々、安定して信頼性の高い熱を供...

ファブフロアでは、フォトレジストのベーク中に0.5°Cのドリフトがあるだけで、クリティカルディメンション（CD）のターゲットがずれ始め、歩留まりが低下する可能性があります。真空チャンバーの赤外線ヒーターは、ソフトベークとハードベークの変動を排除するために設計されています。これらの工程では、熱的な予...