なぜ金メッキ処理されたヒーターハウジングを使うのか？ シリコンウェーハを加熱するときは、1ワットでも無駄にしてはいけません。もし通常の研磨されたアルミニウムやステンレス鋼を使用すると、エネルギーが無駄になってしまいます。これらの材料は熱を過剰に吸収したり、望ましくない方向に熱を散逸させてしまいます。 だからこそ、私たちは金を使うのです。 これは、ハードウェアを見栄え良くするためではありません。赤外線の特性に起因しています。金は、長波長の赤外線を元の場所に戻すのに優れています。つまり、ハウジングの壁面が熱を吸収する代わりに、エネルギーがその金の表面に当たり、直接ウェーハの方に戻されるのです。 これにより、必要な場所に強力で高密度な熱が生み出されます。 構造が重要です。 まず、高温になっても変形しないステンレス鋼を使用します。その上に金の層を加えることで、鏡のような反射効果が得られます。その結果、目標とする温度により速く到達できます。さらに、ウェーハ全体にわたって均一な熱が得られます。 しかし、幾何学的な形状には注意が必要です。数ミリメートルの誤差があるだけで、不快な熱点ができてしまいます。私たちは、ランプの焦点と完全に一致するように、曲率を精密に調整するのに多くの時間を費やしています。 覚えておくべきことが一つ… このハウジングはエネルギーを製品に効率的に伝達するため、ハウジングの外側が非常に熱くなります。 単純に密封された箱に入れておくだけでは不十分です。他の電子機器が壊れないように、積極的な冷却や十分な空気循環が必要です。もし出力を上げすぎて周囲の熱を考慮しなければ、ランプのフィラメントが予想以上に早く壊れてしまいます。