ラムリサーチのヒーター交換

ファブ内では、Lam Research社製の加熱器における温度変動は、単なる小さな問題ではありません。それはCDの制御やフォトレジストの特性、そして生産効率に直接的な影響を与えます。加熱器の温度が不安定になると、ソフトベイクやハードベイクの温度も同様に変動し、ウエハ全体の温度分布が崩れてしまいます...