リソグラフィフロアでは、フォトレジストは意図には依存せず、温度に反応する。ソフトベーク中にウエハー上でたった1℃のドリフトがあれば、ロット全体でCDばらつきとして現れ、熱予算を圧迫する。IRエミッターアセンブリのセラミックエンドキャップは、そのドリフトが発生する場所を抑制する役割を持つ。 技術的に...

ファブフロアでは、フォトレジストの焼成やウエハの乾燥中の熱ドリフトは、単なるスループットの低下要因ではありません。それは重要な寸法を変化させ、静かに歩留まりを損ないます。私たちは、熱的挙動を予測可能に保つために、近赤外線（NIR）エミッターバルブを設計しました。 重要な内部の要素 NIRは、低熱慣...