冬になっても、パティオを無駄にしてはいけません。 11月だからといって、素敵な屋外のスペースが全く使われていないのは残念なことです。多くの人々は通常のエアヒーターを使って対処しようとしますが、風が吹くとその温かい空気はすぐに消えてしまいます。お客さんは依然として寒さに震えており、テーブルも空のまま...

ウェーハの汚染という悪夢を防ぐために 正直に言って、大量生産の現場では、赤外線ランプが壊れるという事態を想像するだけで、どんなエンジニアでも夜も眠れなくなります。 問題は単にヒーターが故障することだけではありません。本当の災害は、その後に起こることです。石英管が壊れると、ガラスの破片や化学物質がウ...

最初から完璧な設計を目指すのではなく、5年後も問題なく動作するように設計しましょう。 ほとんどの人は、暖房装置がすぐに正常に動作するように設計します。これはデモ用としては良いですが、実際の運用では大変な問題になります。 実際、いずれはヒーター素子が壊れてしまいます。もしそんなことが生産の最中に起き...

ファブの現場では、フォトレジストの焼成時に1℃の温度変動が生じると、それは単なるモニター上の数値の変動に過ぎません。しかし実際には、ウェーハの線幅のばらつきやエッチングのバイアス、廃棄されるウェーハの増加といった問題を引き起こします。私たちは、このような変動を抑えるために、半導体用の赤外線ヒーター...