省エネ型ウェーハヒーター

赤外線を活用して、スマートファブの加熱を正確に制御しよう インダストリー4.0向けのスマートファブを構築する場合、ソフトウェアだけでは不十分であることはご存知でしょう。本当の課題はハードウェアです。データに応じて動作する装置が必要なのです。 ウェーハの加熱に関しては、私たちは赤外線を積極的に利用し...