はじめに 私たちは、アメリカや日本の大手メーカーと肩を並べることができる、半導体製造装置用の加熱部品を製造しています。 私たちが常に追求しているのは、高価なコストをかけずに、同じくらい信頼性の高い性能をどうやって実現するかということです。 そのために、厳格な基準に従って部品を製造し、素材や製造プロ...

ファブフロアにおいて、フォトレジストのベーク中に0.1℃のドリフトが発生すると、ライン幅がナノメートル単位で変動し、数時間にわたるリソグラフィ作業が無駄になることがあります。大量生産のウェーハ製造では、熱の再現性は「あれば良い」ものではなく、プロセスそのものです。当社の超精密熱システムは、クラス...