工場乾燥装置のエネルギー診断

ウェーハが最終洗浄工程から出てくるのを見ていれば、次に何が起こるかわかります。ウェーハが水から出た瞬間から、タイマーが動き始めます。従来の乾燥方法では、表面の温度が0.5℃でもずれると、ウェーハ表面に応力が生じたり、フォトレジストが流れたり、粒子が付着したりすることがあります。私たちが開発した超精...