MEMS用の装置をオーブンのように使うのはやめましょう。 もし、ウェーハの乾燥に通常の対流式ヒーターを使ったことがあるなら、その苦労はご存知でしょう。ウェーハを乾燥させようとしても、結局はチェンバー全体が加熱されてしまいます。高価な装置の内壁は、まるでスポンジのようにそのエネルギーを吸収してしまい...

ウェーハが最終洗浄工程から出てくるのを見ていれば、次に何が起こるかわかります。ウェーハが水から出た瞬間から、タイマーが動き始めます。従来の乾燥方法では、表面の温度が0.5℃でもずれると、ウェーハ表面に応力が生じたり、フォトレジストが流れたり、粒子が付着したりすることがあります。私たちが開発した超精...

同じ問題が何度も繰り返されるのを見て、私たちはこの洗濯物用ヒーターを開発しました。それというのも、洗濯が終わっても、洗濯物からは依然として微かなカビ臭が残っているのです。問題は単に乾くのに時間がかかるというだけではありません。重要なのは、布地の内部が湿ったままの状態で、外側が焦げることなく、熱が均...

OLEDラインではマージンは得られない。1℃の変動でもソフトベークがフォトレジストのプロファイルをシフトさせる。均一性のないハードベークは静かに歩留まりを蝕む。そして7×24のファブ環境では、乾燥工程は停止ではなく、時間を問わず維持しなければならない制約である。 技術的に重要な点 OLED製造用乾...