半導体製造用ヒーター素子

製造現場において、写真感光材を95℃で加熱するというのは単なる推奨事項ではありません。それは、単純に必要な温度条件なのです。もしこの温度から半度でも外れてしまうと、線幅の制御が乱れてしまいます。その結果、歩留まりも悪くなります。だからこそ、コーターやベイクオーブン内のヒーター要素は、何度繰り返して...