半導体製造プラントにおいて、エネルギーの無駄遣いは単なるコストの問題だけではありません。ウェーハを加熱する際の真の課題は、単に高出力の電力を供給することではなく、そのエネルギーが実際にシリコンに届くようにすることです。そうでなければ、機械の内部が温まっただけで意味がありません。 そのため、私たちは...

ウェーハをきれいに保つために：赤外線ランプの故障に関する真実 大量生産の半導体製造プロセスにおいて、ランプが壊れるのは大変な問題です。しかし、石英管が実際に破損してしまうと、それは本当に深刻な問題です。 ガラスの破片やほこりがシリコンウェーハに付着すると、単に生産が停止するだけでなく、ウェーハも汚...

なぜ半導体製造において熱風を使わずに赤外線を利用するのか もし、精密な加工作業を経験したことがあるなら、待つ時間の長さをご存知でしょう。 熱風を使って加熱するのは、廊下にあるヘアドライヤーで部屋全体を温めようとするのと同じです。まず空気が温められ、その空気がトロリーを温め、最終的にウェーハが温まり...

挥発性化学物質を加熱するときの安全対策 正直に言って、クリーンルーム内で化学物質を加熱するのは非常に危険なことです。燃焼や爆発の可能性がある溶剤を扱う場合、通常のIRランプでは不十分です。ちょっとした火花やクォーツ管の破損だけで、大惨事につながりかねません。だからこそ、私たちは単にランプを販売する...

なぜクリーンルーム用ヒーターの絶縁性能試験にこだわるのか クリーンルームでは、「十分に良好であればよい」ということはありません。ほんのわずかなほこりや電気的漏れがあっただけで、全ての製品が台無しになってしまいます。 このような場所向けに赤外線ヒーターを製造する際、私たちはもちろん熱出力にも注意を払...

長年にわたり、オフグリッドの住宅ではケロシンヒーターが主流でした。しかし、その特有の臭いは単なる迷惑なだけではありません。実際、ケロシンヒーターからは常に微粒子や水分が発生し、煙が部屋の隅々にたまり、喉が痛くなったりします。また、炎が不安定になると快適さも失われ、空気も重くなります。電気式の赤外線...