アクセリスのヒーター要素の交換用部品

フロア上では、24時間365日、少しの熱的な問題でも許されません。ヒーター要素が正常に動作しなくなると、ソフトベイクやハードベイクの温度が規定値から外れてしまいます。その結果、リソグラフィーの精度が低下し、ウェーハが廃棄されてしまいます。スケジュールも乱れます。そうした事態を未然に防ぐために...