赤外線を活用して、スマートファブの加熱を正確に制御しよう インダストリー4.0向けのスマートファブを構築する場合、ソフトウェアだけでは不十分であることはご存知でしょう。本当の課題はハードウェアです。データに応じて動作する装置が必要なのです。 ウェーハの加熱に関しては、私たちは赤外線を積極的に利用し...

ウェーハが最終洗浄工程から出てくるのを見ていれば、次に何が起こるかわかります。ウェーハが水から出た瞬間から、タイマーが動き始めます。従来の乾燥方法では、表面の温度が0.5℃でもずれると、ウェーハ表面に応力が生じたり、フォトレジストが流れたり、粒子が付着したりすることがあります。私たちが開発した超精...