スマートファブで赤外線加熱を実際に活用するには
スマートファブを構築する際には、古いタイプの加熱装置を高技術施設にそのまま導入してもうまくいきません。そんな方法では効果がありません。必要なのは、デジタルツインと連携し、リアルタイムでデータに反応するシステムです。だからこそ、私たちは高効率な赤外線加熱システムを利用するのです。このシステムは非常に高速です。高精度な製造においては、その速度が何よりも重要です。
温度の推測をやめよう
重要なのは、加熱システムが曖昧であってはいけないということです。実際の温度が適切かどうかを疑う必要はありません。
私たちが開発した赤外線加熱システムは、柔軟性が高く、自由にカスタマイズできます。センサーやPLC制御式の電力モジュールを接続することで、熱出力の状況をリアルタイムで把握できます。そうすれば、生産ラインは自動的に調整されます。ウェハーや基板の温度が変われば、加熱もそれに合わせて調整されます。起動時や冷却時に不安になる必要はありません。すべて自動的に行われます。
部品を温めるだけ、部屋全体を温めるのではない
ここでの物理原理は非常にシンプルです。赤外線は電磁波を利用しているため、直接対象物を温めます。周囲の空気を温める時間が無駄になりません。
クリーンルームでは、これは非常に有益です。集中した熱源により、近くの電子機器が過度に加熱されることがありません。ただし、エネルギーが集中しているため、排気流量を適切に調整して、筐体が過度に熱くならないようにする必要があります。
無駄とコストの削減
従来のオーブンはエネルギーを多く消費します。運用コストも高く、大量の電力が無駄になります。
私たちはゾーン別の加熱方式を採用しています。実際に使用している部分のみに電力を供給します。簡単です。さらに、中央のエネルギープラットフォームに接続すれば、各バッチでどれだけのキロワットが消費されているかを正確に把握できます。
こうして、加熱はもはや受け入れざるを得ない固定費ではなく、追跡・調整・制御可能な数値となります。