クラス100のクリーンルームを本当に清潔な状態に保つために
もし、クラス100（ISO 5）のクリーンルームを運営しているのであれば、粒子が発生するという問題をご存知でしょう。ヒーターから出るわずかな破片だけで、作業した製品全体が無駄になってしまいます。一般的なコイル式やワイヤー式のヒーターは、あまりにも汚染の原因となります。特に、最も注意が必要な時に、ガスを放出したり、部品が剥がれ落ちたりします。
そのため、私たちは高純度の石英製の赤外線ランプと、金メッキされた反射器を使用しています。これが最適な解決策です。
なぜ石英と金を使うのか？
ケースとして高純度の合成石英を使用する理由は、ガスを放出しないからです。加熱や冷却の過程でも、安定した性能を維持します。次に金についてです。アルミニウムよりもはるかに優れて赤外線を反射するため、そのエネルギーをワークピースに効率的に伝えることができます。そうすれば、周囲の機械が過度に熱くなることもありません。
設置方法
このような環境では、スペースが限られています。金メッキされた反射器によって赤外線エネルギーが集約されるため、少し余裕が生まれます。直接接触させないようにしたい場合でも、熱源をワークピースから離して配置すれば、目標の温度に到達できます。また、高温用のシールも使用します。ハロゲンガスがクリーンルーム内に漏れ込むのは避けたいものです。
実際の利用例
これらの装置は、迅速に温度を調整するのに最適です。石英は電力の変化に即座に反応するため、セラミックヒーターよりもずっと正確に温度をコントロールできます。しかし、注意点もあります。金はデリケートです。指紋や皮脂があると、反射器に汚れがつき、効率が低下してしまいます。設置時には、繊維のない手袋を必ず着用しましょう。また、冷却ファンも確認してください。もし、反射された熱に耐えられないようであれば、温度制御がうまくいかなくなります。スイッチを入れる前に、十分に空気の流れを確認しましょう。