반도체 공장에서 탄소 배출을 줄이려면, 먼저 열 문제를 해결해야 합니다. 기존의 가열 방식은 너무 낭비적입니다. 마치 전체 주방을 데우는 것으로 한 그릇의 음식만을 따뜻하게 하려는 것과 같습니다. 그래서 우리는 금으로 코팅된 이중관형 적외선 램프를 사용합니다. 이 램...

제조 현장에서 포토레지스트를 건조시키는 과정은 단순한 절차가 아닙니다. 이는 일종의 ‘열적 상호작용’입니다. 소프트 베이크와 하드 베이크 모두 반드시 정해진 온도 범위 내에서 이루어져야 합니다. 그렇지 않으면 리소그래피 공정에 문제가 생깁니다. 그 결과 생산 효율도...