진공 환경에서도 사용 가능한 적외선 히터
적외선 히터가 가연성 화학물질과 접촉할 때 안전을 유지하는 방법
화학 청소 공정에서 적외선 히터를 사용한다면, 그로 인한 문제들을 잘 알고 있을 것입니다. 주변에는 휘발성 증기가 많이 있고, 진공 상태에서는 모든 것이 압력에 의해 영향을 받습니다. 이러한 환경에서는...
진공 오븐 가열 요소 제조업체
진공 오븐의 가열 요소에 관한 잔인한 진실
간단히 말해, 진공 오븐의 내부 환경은 가열 요소에게는 결코 쉬운 곳이 아닙니다. 그곳은 극도로 혹독하고 위험한 환경입니다.
우리는 가열 요소가 압력이 가해지는 환경에서도 제대로 작동할 수 있도록 설계합니다. 매일매일 일관되...
진공 챔버 적외선 히터
fab 라인에서, 포토레지스트 베이크 중 0.5°C의 온도 변동만으로도 크리티컬 디멘션(CD) 목표치가 벗어나 수율 저하가 발생할 수 있다. 진공 챔버 적외선 히터는 소프트 베이크와 하드 베이크 단계에서 이러한 변동성을 제거하는 역할을 한다. 이 단계들에서는 열 예산...