도핑제 활성화용 적외선 히터

팹에서는 도핑제 활성화 과정, 포토레지스트의 소프트 베이크 및 하드 베이크 과정에서 발생하는 온도 변동이 단순히 수율에 영향을 미치는 것이 아니라, 수율 자체를 완전히 망가뜨릴 수 있습니다. 저희는 도핑제 활성화를 위한 적외선 히터를 설계할 때, 공정이 실제로 필요로...