램 리서치 히터 교체

팹 내에서 Lam Research 장비의 온도 변동은 단순한 사소한 문제가 아닙니다. 이는 CD 제어 시스템, 포토레지스트의 성능, 그리고 생산 효율에 직접적인 영향을 미칩니다. 히터의 작동이 정상적이지 않으면, 소프트 베이크와 하드 베이크 과정에서의 온도도 엉망이...