MEMS 공구를 오븐으로 변질시키지 마세요. 웨이퍼를 건조하기 위해 일반적인 대류형 히터를 사용해본 적이 있다면 그 어려움을 잘 알 것입니다. 웨이퍼를 건조하려고 하지만 결국은 전체 챔버가 가열되어 버립니다. 비싼 장비의 내부 벽면들은 마치 스펀지처럼 그 에너지를 모...

웨이퍼가 최종 세척 과정을 거쳐 나오는 모습을 보면, 그 다음에 무슨 일이 일어날지 알 수 있습니다. 웨이퍼가 물에서 나오는 순간부터 시간 계수가 작동하기 시작합니다. 일반적인 건조 방식에서는 표면의 온도가 0.5°C만 차이나도 피부층에 스트레스를 주거나 포토레지스트...

우리는 같은 문제가 반복적으로 발생하는 것을 보고 이러한 의류 건조 히터를 만들었습니다. 세탁이 끝난 후에도 옷에서는 여전히 약간의 곰팡이 냄새가 나곤 합니다. 문제는 단순히 건조 시간이 길다는 것이 아니라, 열이 옷의 섬유 속으로 고르게 전달되면서도 겉면이 타지 않...

OLED 라인에서는 어떠한 마진도 허용되지 않는다. 심지어 1℃만 변동해도 소프트 베이크 시 포토레지스트 프로파일이 변한다. 균일하지 않은 하드 베이크는 조용히 수율을 갉아먹는다. 7×24 가동하는 팹에서는 건조 공정이 잠시 멈춤이 아니다. 그것은 시간당 반드시 유지...