OLED 제조 건조 램프

OLED 라인에서는 어떠한 마진도 허용되지 않는다. 심지어 1℃만 변동해도 소프트 베이크 시 포토레지스트 프로파일이 변한다. 균일하지 않은 하드 베이크는 조용히 수율을 갉아먹는다. 7×24 가동하는 팹에서는 건조 공정이 잠시 멈춤이 아니다. 그것은 시간당 반드시 유지...