노광 후 베이크(PEB) 히터

리소그래피 작업장에서 라인폭 제어는 포스트 익스포저 베이크(PEB) 단계에서 결정된다. 온도가 단 몇 도만 변하거나 웨이퍼 전반에 걸쳐 균일하지 않으면 CD 편차와 불량이 발생한다. 우리는 이러한 변동성을 제거하기 위해 PEB 히터를 설계했다. 핵심 사항 베이크 표면...