램프가 파손되는 악몽을 막는 방법 고부하가 걸리는 생산 라인에서 램프가 파손되는 것은 단순한 “기술적 문제”나 잠시의 가동 중단에 그치지 않습니다. 그것은 심각한 재앙입니다. 예를 들어, 석영관이 파손되면 유리 조각과 할로겐 가스가 웨이퍼 위로 쏟아집니다. 단 한 번...

라인에서 일할 때는 잘 알 것이다. 소프트 베이크에서 0.5도만 벗어나도 크리티컬 치수 제어가 규격에서 이탈할 수 있다. DNS(Screen) 웨이퍼 드라이어 램프는 바로 이런 현실에 대응하기 위해 설계되었다. 웨이퍼 책 전체에서 ±0.1°C 이내의 열 균일성을 유지...