액셀리스 히터 요소 부품

바닥에 설치된 이 장비는 24/7으로 작동해야 하므로, 약간의 열적 문제라도 견딜 수 없습니다. 하나의 히터 요소가 제대로 작동하지 않으면, 소프트 베이크와 하드 베이크 과정에서 온도가 규격에서 벗어나게 됩니다. 그 결과, 리소그래피 공정의 정밀도가 떨어지고 웨이퍼들...