적외선 기술로의 전환: 스마트 팹의 열을 효과적으로 제어하기 Industry 4.0을 위한 스마트 팹을 구축한다면, 소프트웨어만으로는 충분하지 않다는 것을 이미 알고 있을 것입니다. 진짜 문제는 하드웨어입니다. 데이터를 정확하게 처리할 수 있는 장비가 필요합니다. 웨...

웨이퍼가 최종 세척 과정을 거쳐 나오는 모습을 보면, 그 다음에 무슨 일이 일어날지 알 수 있습니다. 웨이퍼가 물에서 나오는 순간부터 시간 계수가 작동하기 시작합니다. 일반적인 건조 방식에서는 표면의 온도가 0.5°C만 차이나도 피부층에 스트레스를 주거나 포토레지스트...