避免红外线灯爆炸带来的灾难 在高负荷的生产线上，红外线灯的爆炸可不是简单的“技术故障”或短暂的停机问题——那简直就是一场灾难。想象一下：石英管一旦破裂，玻璃碎片和卤素气体就会直接溅到晶圆上。一旦发生这种情况，整批产品都报废了。我们都有过这样的经历，或者见过类似的情况发生。正因如此，我们才设计了这样...

Out on the line, you know how it goes: a half-degree drift in soft bake is enough to knock critical dimension control right out of spec. That’s...