红外发射器用陶瓷端盖

在光刻车间，光刻胶不会考虑意图——它只对温度做出反应。让你的软烘焙过程中即使在晶圆上漂移1°C，你会看到这种漂移在整个批次中表现为CD变化，影响你的热预算。红外发射器组件上的陶瓷端盖旨在从源头上阻止这种漂移。 技术上重要的内容 陶瓷端盖稳定了发射器接口——热量从灯丝离开并进入工艺腔室的地方。在光刻...