晶圆加热的安全距离

彻底杜绝晶圆污染的噩梦 说实话，在高产量生产环境中，一想到红外灯可能会爆炸，任何工程师都会夜不能寐。 问题不仅仅在于加热器突然停止工作而已。真正的灾难在于随之而来的后果——当石英管破裂时，玻璃碎片和化学物质会溅到晶圆表面。一旦发生这种情况，产品的合格率就会急剧下降。 因此，我们设计红外系统时，就是...