在光刻车间，光刻胶不会考虑意图——它只对温度做出反应。让你的软烘焙过程中即使在晶圆上漂移1°C，你会看到这种漂移在整个批次中表现为CD变化，影响你的热预算。红外发射器组件上的陶瓷端盖旨在从源头上阻止这种漂移。 技术上重要的内容 陶瓷端盖稳定了发射器接口——热量从灯丝离开并进入工艺腔室的地方。在光刻...

在制造车间，光刻胶烘烤或晶圆干燥过程中的热漂移不仅仅是降低产量的问题。它会影响关键尺寸，并悄然吞噬良率。我们设计了近红外（NIR）发射器灯泡，以保持热行为的可预测性，确保每个周期都保持一致。 底层关键点 NIR提供了低热惯性的体积加热，因此灯泡表面即使在能量传递到薄膜或基板时也能保持较低温度。这意...