掺杂剂激活型红外加热器

在制造厂中，掺杂剂活化、光刻胶软烘烤和硬烘烤过程中的温度波动不仅会降低产量，甚至可能彻底破坏生产流程。我们设计的掺杂剂活化用红外加热器能够将温度控制在工艺所需的精确数值上，而不是由腔室本身的温度波动所决定的数值。 从技术层面来看，重要的是什么？ 我们的短波红外发射器能够快速且精准地加热，芯片表面的...